应用光谱分析方法测定试样中元素含量时，所得结果与真实含量通常并不是一致的，总是存在着一定的误差和偏差。这里所说的误差是指每次测得的数值与真值之差，而偏差是指每次测得的数值与多次测量平均值之差。但习惯上人们常把误差与偏差混用而不加区别。根据误差的性质及其产生原因，误差可分为:系统误差(恒定误差)、偶然误差(随机误差)和过失误差三种。

( 1)系统误差：是指在测定过程中，由于某些固定的或按一定规律变化的因素，使测定结果向一个方向偏离真值所出现的误差。系统误差的大小在同一实验中基本上是相同的。测量结果与真值偏离的程度越小，测定结果越正确，系统误差就越小。只要找出产生系统误差的原因一般可以通过校正将其扣除。

直读光谱仪的误差

(2)偶然误差：在测定中，多次分析结果与真实含量比较,是向两个不同方向偏离，这时的误差称为偶然误差。偶然误差有时大、有时小、有时正，有时负，但其正负的出现机会基本相等。并且服从高斯分布定律。产生偶然误差的原因很多，要完全消除偶然误差是不可能的。但是，通过误差分析,找出产生误差大的环节，改进分析条件和方法，仍然可以降低偶然误差。

(3)过失误差：这种误差也可以称为差错，是由于操作不细心、操作不正确所造成的,如样品顺序颠倒,读错刻度、记录或计算错误等等。

光谱分析过程，是由若千环节所组成的，每--个环节都产生一定的误差。当无过失误差时，光谱分析的误差来源主要是系统误差和偶然误差，所有这些误差的总和，便决定了光谱分析的准确度。而分析的准确度包含两方面内容，一是分析的正确性，二是分析的再现性。正确性表示分析结果与真实含量的接近程度。系统误差小，正确性高。精密度(再现性)表示多次分析结果的离散程度。当没有系统误差，或者系统误差比偶然误差小得多时，精密度就等于准确度。