ICP光谱分析仪可测定样品中的多种元素，可进行定性分析、半定量分析和定量分析，同时，它的定性分析通常也准确可靠。ICP光谱分析仪与经典光谱仪相比，具有以下有点：

1. 因为ICP光源具有良好的原子化、激发和电离能力，所以它具有很好的检出限。对于多数元素，其检出限一般为0.1~ 100ng/ml。

2.因为ICP光源具有良好的稳定性，所以它具有很好的精密度，当分析物含量不是很低即明显高于检出限时，其RSD一般可在1%以下，好时可在0.5%以下。

3.因为ICP发射光谱法受样品基体的影响很小，所以参比样品无须进行严格的基体匹配，同时在一般情况下亦可不用内标，也不必采用添加剂，因此它具有良好的准确度。这是ICP光谱法主要的优点之一。

4.ICP发射光谱法的分析校正曲线具有很宽的线性范围，在一般场合为5个数量级，好时可达6个数量级。

5.ICP发射光谱法具有同时或顺序多元素测定能力，特别是固体成像检测器的开发和使用及全谱直读光谱仪的商品化更增强了它的多元素同时分析的能力。

6.由于ICP发射光谱法在一般情况下无须进行基体匹配且分析校正曲线具有很宽的线性范围，所以它操作简便易于掌握，特别是对于液体样品的分析。

当然我们也不可以忽视ICP光谱分析仪的局限性：

1.对于固体样品来说，需要将其预先转化为溶液状态，这一过程往往对其检出限产生影响。

2.ICP光谱分析仪目前只能作为检测样品中各元素的总量，如果不与其他技术连用，就不能进行价态的分析。