由于每一种元素都有自己的特征谱线，因此可以根据光谱来鉴别物质和确定它的化学组成，这种方法叫做光谱分析。光谱分析仪的优点是非常灵敏而且迅速，在材料成分分析和结构分析中起着重要作用。

每种元素的特征光谱通常包括很多谱线，判断元素的存在并不需要将该元素所有谱线都找出来，而只需要找出23根灵敏线即可。灵敏线是一些徼发电位低的光谱线，它们的强度大，在很低含量就能出现。材料成分的定性分析一般选用灵敏线作为分析线，用元素光谱图对比即可。

定量分析是根据被分析元素谱线的强度确定其含量的。光谱分析仪中待测试样被激发后产生特征光，由入射狭缝经光栅依波长分光后，形成不同波长的光分通道，由光电倍增管将光信号转为电信号，再经各通道的电流频率转换器形成不同频率的脉冲信号，计算机专门设计计数器对脉冲进行计数，其计数值即为各单色光的谱线强度。

光谱分析仪的测量过程

计算机系统应用软件可完成以下功能。

1)测量参数选择

不同样品作不同元素的检测时，许多测量控制参数都有所不同。应用软件中应能选择不同的参数，建立测量控制参数文件，并存储在磁盘中。测量控制参数选择子菜单中包含装载测量控制参数文件、显示测量控制参数文件、输入测量控制参数文件、修改测量控制参数文件、存储测量控制参数文件等项。

2)定标处理

测量前仪器都需经标准样品校准。标准样品中各元素浓度与仪器相应通道的光谱线强度计数值一般以文件形式存储，应用软件在工作时调用此文件与实测时的光谱线比较，得出被测样品的含量值。

3)常规测量过程控制

完成一般的常规测量过程，同时数据系统把测量数据依通道存入测量数据文件。

4)分析测量结果

依据测量数据文件对被测样品作出分析，给出被测样品的成分分析结果。

计算机测控系统的使用已使光谱仪成功地用于一些要求在现场快速成分分析的地方，例如炉前快速成分分析等。在现场快速成分分析系统主体是一个半自动全封闭的光谱实验室，它由实验室箱体、快速取样和自动磨样机、发射光谱仪、数据网络、数据传输终端五部分组成。实验室箱体是专门设计的，具有防震、防尘、防电磁干扰等性能，使其可以在工业现场使用，快速取样和自动磨样机使其可以满足在现场快速成分分析的要求；数据网络和数据传输终端将成分分析数据迅速传输给中心计算机。

以上各种分析设备几乎都是在计算机采集和数据处理系统控制下工作。这些计算机系统都提供了不同的设备控制、数据处理分析软件，功能非常强大，对检测结果的分析精度和详尽程度是过去人工分析很难办到的。其数据处理软件主要包括：计算、模拟软件、数据分析、图像分析软件、设备控制软件等。